Lịch sử sử dụng khí SF6 đã có từ rất lâu, bắt đầu từ thế kỷ trước và phát triển vượt bật đến ngày nay
Lịch sử sử dụng khí SF6 được bắt đầu khi loại khí này được tạo ra vào năm 1900 trong phòng thí nghiệp của Faculte de Pharmacie de, Paris, Và nhanh chóng sau đó khí SF6 được phát hiện có độ bền điện môi rất cao và khả năng dập hồ quang hiệu qủa đã dẫn đến việc ứng dụng thành công trong máy cắt điện cũng như các trạm biến áp cách điện khí, được giới thiệu lần đầu năm 1960 và trở nên phổ biến vào những năm 1980. Ngày nay, các thiết bị điện áp cao đều sử dụng khí SF6 và điện áp thấp cũng đang có xu hướng này.
Với các đặc tính nổi bật của khí SF6, nó đảm nhận nhiều chức năng quang trọng đặc biệt trong ngành điện.
Trong lịch sử sử dụng khí SF6 các nhà nghiên cứu đã sớm biết được trong những trường hợp lý tưởng, khi xảy ra hiện tượng phóng điện, mỗi nguyên tử Flo trên SF6 có thể bắt một electron và phân tách khỏi lưu huỳnh. Khi hiện trượng phóng điện kết thúc, Flo mất electron đã bắt và tái kết hợp với lưu huỳnh để tái tạo thành SF6. Đây là khă năng “tụ phục hồi” hay đặc tính tự tái tạo của SF6. Bất kể hoàn cảnh nào, phần lớn điều này đều sẽ thường xảy ra trong các thiết bị điện cao áp. Tuy nhiên lịch sử sử dụng khí SF6 cùng quá trinh thử nghiệm đã phát hiện, khi các thành phân khác được thêm vào như: oxy, hơi nước từ không khí, carbon từ các thành phân ngắt điện Teflon, đồng, từ các tiếp điểm Volfram và nhôm được cho vào trong quá trình phóng điện, chúng có thể phản ứng với các phân khác nhau được tạo ra khi SF6 phân ly.
Công nghệ chế tạo thiết bị điện đã phát triển vượt bật cùng lịch sủ sử dụng khí SF6, tăng độ linh hoạt tính an toàn cùng khả năng hoạt động.
Với các ưu thế của khí SF6, thiết bị dùng khí SF6 không phải mất chi phí bảo trì, đồng thời có thể khắc phụ được những vấn đề của các thiết bị sử dụng dầu cách điện. Đây là lí do vì sao sự phát triển của ngành điện nói chung và công nghệ chế tạo thiết bị điện gắn liền với lịch sử sử dụng khí SF6.
Thêm nhiều chức năng mới của SF6 được sử dụng trong thế giới hiện đại
Ngoài lịch sử sử dụng khí SF6 trong ngành điện, ngày nay nó còn được ứng dụng trong các ngành công nghiệp điện tử:
Chức năng của khí SF6 trong các ngành công nghiệp điện tử được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn, Sulphur hexafluoride đóng vai trò là nguồn flo cho cắt plasma mật độ cao mà không tạo ra sản phẩm phụ là carbon. SF6 có thể được sử dụng để khắc các vật liệu silic (đặc biệt là vonfram), nitrit và oxit.